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EDXとは?

1 :名も無きマテリアルさん:2001/07/17(火) 19:17
EDXについてお教え下さい

2 :名も無きマテリアルさん:2001/07/17(火) 19:23

        (⌒Y⌒Y⌒)
      /\__/
     /  /    \
     / / ⌒   ⌒ \
  (⌒ /   (・)  (・) | ∩
 (  (6      つ  | .| |   / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄
  ( |    ___ | ..| |  <  逝って
     \   \_/  /  | |   \ ヨシ
  / ̄\\____/ ....| |      \_________
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|.  \_/  ヽ     ../
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3 :名も無きマテリアルさん:2001/07/17(火) 19:23
さらにEPMAとのちがいについてもできればおねがいします。

4 :名も無きマテリアルさん:2001/07/17(火) 19:44
ここでも見とけ。

http://www.dent.niigata-u.ac.jp/epma/EPMA.html

5 ::2001/07/17(火) 19:52
もっと分かりやすく説明しろ( ゚Д゚)ゴルァ!!

6 :名も無きマテリアルさん:2001/07/17(火) 19:55
助かりました。ありがとうございます。

7 :名も無きマテリアルさん:2001/07/17(火) 19:58
>>1
>>3
これまた酷いスレを立てたねえ。
ネタのような気もするが。

EPMAはEDX、WDXの総称。
但し、最近はWDXの意味でEPMAと呼称しているケースが結構多い。
EPMAは、電子線によって励起された電子が落ちる際に放出する
特性X線を測定して、元素を同定し、その強度比から組成を
割り出す分析方法で、大体のSEMに組み込まれてる。
EDXは、特性X線の測定にシンチレーションカウンターを利用して、
X線光子のエネルギーを測定する。
WDXは、既知の格子定数を持つ回折格子でゴニオをまわして、
その回折角度からX線の波長を測定する。
(波長とエネルギーは、お互いに関数だから、
結局は同じものを別の見方で測ってることになる。)

一般的特徴として、EDXは測定時間が比較的短く、
位置分解能が高いが、エネルギー分解能が低く、軽元素が苦手。
WDXは大体その逆。
あと、EPMAの全体的特徴として、狭くて、やや厚みを持った領域の分析になる。
これは、入射が電子線で検出がX線である分析方法の特徴。
電子線は運動量が小さいために、十分加速された状態じゃないと
貫入出来ないし、脱出できない。
但し、磁気レンズを利用して収斂させることが出来る。
X線は運動量が大きいために、貫入も脱出も深くなる。
但し、基本的に適正なレンズが無いため、狭い領域の分析は苦手。
だから、数μm以下の厚さのものをEPMAで分析するときには
下地の影響を考慮しておくべき。

他によく併用される励起エネルギーを利用した分析方法は、
ESCA(XPS)、AES辺りかなあ。
他にもイオン励起を利用するものとか色々あるみたいだけど、
あんまり馴染みが無い。

8 :7:2001/07/17(火) 20:00
出遅れ〜。

9 :名も無きマテリアルさん:2001/07/17(火) 20:03
>>7

-=-‐〜--へ__,,- 、
      <        ヽ   ゝ
       ノ    二、___ゝ,/_/ヘ  |
      |    ヲ          | |   / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄
      |    ┤  ===、 , ==|  | <  感動した!
     ノ   彳  ―ェ 〈‐ェ〈  ゝ  \
    ゝ、  イ6|ゝ    / \ |‐"     \_________
      く   .^|        - ゝ
       ヒi_,| \l  [ ――.|
        ,,, -/\  \____,|
     ―'|  \  \    |\_
       |   \  \.  / 〉 \ ̄
        |__,\  / ̄〕/ 、/

10 :名も無きマテリアルさん:2001/07/17(火) 20:12
7さんはすごいねえ・・・
いったい何処の所属なんだい?
確かに1はドキュソ丸出しだけど、あんたみたいに簡潔に説明できる人も
なかなかいないねえ。この説明でわかんないやつはいないだろうな。

11 ::2001/07/17(火) 20:25
>>10
まず、お前から言え。

12 :10:2001/07/17(火) 20:29
俺は北大工学部材料工学科だけど何か?

13 :7:2001/07/17(火) 21:23
>>10
お褒めはとても嬉しいんだけど、
材料屋としては一般教養レベルの知識ですね。

メーカー在勤で溶解屋になるのかな、一応。
とても、名乗れるレベルのレスじゃないですんで、これぐらいで。

>>11
そういう貴方は?

14 :名も無きマテリアルさん:2001/07/17(火) 23:54
>1
本調べて正確な知識を持っておいたほうがよいとおもうけど。
7は、いくつか間違った点があります(シンチ、回折格子など)

15 :7:2001/07/18(水) 08:52
>>14
ご指摘ありがとう。勉強になります。

で、確認しました。

シンチレーションカウンター→半導体計数管
真空管とトランジスタみたいな違いがある。
後者の場合には、熱雑音を除くために、液体窒素冷却が必要、前者は不要。
シンチの方が広帯域だがエネルギー分解能は半導体係数管の方が高い。
って理解で合ってますか?

回折格子の方は良く分からないのですが、結晶と呼ぶべきだったんでしょうか?
それとも、もっと根本的に理解不足なところがありますでしょうか?
よろしければ、解説してもらえると助かります。

他にも間違えている認識があれば、指摘していただけるとありがたいです。

16 :名も無きマテリアルさん:2001/07/18(水) 14:15
>10
北大材料のどの分野よ?
強度か?機能か?組織か?表界面か?それとも極限か?
って、全部挙げてたらきりがないから、やめとこう

17 :名も無きマテリアルさん:2001/07/18(水) 18:40
>>7,>>15 根本的に理解不足だと思います。普段だったら、放って置くのですが、「ありがたい」とあるので、指摘します。

まず最初の「EPMAはEDX、WDXの総称」って部分。
EPMAとEDX、WDXは別のものです。EDX,WDXとは、X線の分光方法の呼び名ですので
決してEPMAに限ったことではありません。X線励起(XRF)、イオン励起(PIXE)の際も
出てきたX線をこのどちらかで分光しています。
ちなみに、火星に行ったマーズ・パス・ファインダー号には、EDXのPIXE装置が搭載されてました。

次に
「EPMAは、電子線によって励起された電子が落ちる際に放出する 特性X線」の部分も間違いです。
電子励起によって生成された電子空孔に、より外郭の軌道電子が落ちる際に特性X線が放出されるのです。
EPMAの場合、特殊なことをしない限り、励起された電子が、自身の空孔に落ちてくることは無いでしょう。
またその場合、特性X線とはなりえません。

次にこれは間違いではないんですが、EPMAの用途はは元素分析に限らないってことです。WDXで行なう場合、分解能がEDXに比べ格段によいためXPSや、APSのように、電子状態についての知見が得られます。

回折格子についてですが、一般にはEPMAには使われません。しかし、最近、軟X線用に、回折格子による分光系をEPMAに導入したという話を聞いたことはありますが・・・

18 :7:2001/07/18(水) 19:56
なるほど。
大変勉強になりますね。

XRFぐらいならまだ馴染みがありますが、
PIXEなどは名前ぐらいしか聞いたこと無いですので、
ピンと来てなかったです。
言われてみれば、励起光源が電子ビームに限ったものでは無いのでしょうが。
ちなみに、メタル屋でPIXEなどを使っているケースなどは、結構出て来ているのでしょうか?
AES程度でさえ、ちらほら見るようになったなあという印象なのですが。
ご存知の報告例などがあれば、ご紹介下さい。

特性X線についてもご説明の通りですね。落ち幅が一定でないと波長が定まりませんから、
各元素軌道間の固有値にならないですよね。いい加減な説明でした。
ごめんね>>1

WDXによる電子状態の解析というのは一応聞いたことがありましたので、
分析領域の話の最後にESCAなどとの比較の形で挙げようかなとも思ったのですが、
状態分析が可能な程エネルギー分解能が高いと言っても、ESCAにはとても及ばないと聞いて
おりましたので、割愛しました。
ただ、自分が知っているのは、もう7〜8年ぐらい前に、材料系専攻科目の極一部として勉強した
時の情報だけですので、最近はESCAレベルに近づいているなどのトピックス的な話でもあれば
ご紹介下さい。

あと、回折格子というのは、通常の分析用結晶(LiFとかが使われていると聞いてますが)とは異なるものなのでしょうか?
単純に分光に使用する既知の格子定数を持った結晶という程度に認識していましたが、
この文面を見る限り、別物のようですね。

蒙を開いていただけると、とても嬉しいです。

19 :夏厨17号:2001/07/18(水) 20:10
EPMA = エレクトロンプローブマイクロアナリシス=電子励起微小領域分析法
EDX =エネルギー分解X線分光法
WDX =波長分解X線分光法
でいいんでしょうか。
>15さん
半導体検出器ってSSD(そりっどすてーとでぃてくた)とか
SSBD(固体ショットキーバリアディテクタ)とかいうと思うのですが管じゃないので
計数管っていわないという気がします。
>17さん
マーズパスファインダーのPIXEのイオンソースって放射性同位体?ですか

20 :17:2001/07/18(水) 20:31
>19
>マーズパスファインダーのPIXEのイオンソースって放射性同位体?ですか
なんだったか忘れましたけどそうです。それでRBSもやったらしい。
NASAの奴は、ノイズを避けるために、火星の夜の時間に測定したと言っていた。
ditectorも、Siを使っているので、普通のSi(Li)のSSDとは違い、ペルチェで冷やすぐらいでいいそうだ。
それで、Si(Li)とほとんど同じ分解能、しかも安いと聞いた。俺もほしい。
やっぱ.管じゃ無いよね。あと、エネルギー分解ではなく分散です。WDXも分散。





21 :名も無きマテリアルさん:2001/07/18(水) 21:02
>7
XPSとEPMAの状態分析は目的が異なります。
XPSは分析領域が薄く定量性が低いためバルクの分析にはむいていません。
その代わり表面の分析感度は高く、表面の酸化層などの分析に向いています。
EPMAの場合バルクの分析が可能でありきちんとした手順を踏めば高い定量性が
得られるため酸化物と非酸化物の割合を求める事も可能です。
いずれにせよX線や電子線、イオンビームの照射により試料の状態が変化する事を
念頭に置いた解析が必要です。

>>20
SiデテクタのEDXも出てたはずだよ。
メーカーとか忘れたけど、以前SEM-EDXの更新時に
売りこみがあった気がする。
でも安くは無かったな。
それから計測管を使うのはWDXの方だよ。

あとEDXとWDXを比較するなら分析領域(大きい方)に触れないとね
EDXは電子の取り入れ角を大きく出来るからかなりの面積(低倍率)でも
分析が可能だけど
WDXは試料と結晶とデタクタがローランド円上にないと出来ないし
電子線の取り入れ角も小さい。
このため帯状の分析可能位置が出来る(JEOL)。
マッピング取る時は気を付けてね。
1度、これ知らない奴が(他社)「中央偏析があります。」とか逝って
クレームつけてきたのには笑ったけど。

22 :17:2001/07/18(水) 21:18
>18
原理的に、X線分光は分解能では原理的にXPSにはかないません。その差は広がる一方。
しかし、価電子帯の分析において、X線分光はそれぞれの原子ごとの情報を別々に測定できる利点がある。
(このあたりは、XPSよりUPSの領域といった方が良いのでしょうが・・)
XPSだと内殻のケミカルシフトを見るという使い方が普通でしょうから、一般的にはXPSの方が有利かな?

トピックとしてはESCAではないが、放射光を使った実験手法が発展してきている。PRL 74 478はその走り。

回折格子と分光結晶は全くの別物です。
回折格子は、何らかの表面に横方向の溝をつけたものです。その溝の間隔が格子定数となります。
分光条件の式も違いますので、面に対して入射角と回折角が違ってもかまいません。

23 :17:2001/07/18(水) 21:32
>>21
「やっぱ管じゃないよね」っていったのは、19の「計数管っていわないという気がします」に合いの手を打ったつもりで書きました。
判りずらかったとは思いますが・・・

ところで、文を読むには、EPMAを良く使われているみたいなので、お聞きしたいのですが。
「EDX」と聞いたら「EDXのEPMA」の事だと思ってしまうんでしょうか?
もしそうだとすると、分光装置専門の私としては心外なんですが・・・

ディテクター価格の話ですが、私の言ってた奴はディテクター単体で100万切っていたはず。

24 :7:2001/07/18(水) 22:26
話題が膨らんでとても楽しいです。

>>19
カリティだと計数管になってました。
原理から見ると、管じゃない(ガラスチューブに電極を取り付けたものじゃない)んだろうな、とは思うんですが、
如何せん、実物を見る機会が無いもので。

>>21
確かにXPSに比べると、分析深さは3桁近く違う(XPS→数nm、EPMA→数μm(ブルーム分))わけですが、
バルクという表現は、金属屋の感覚だとちょっと引っかかりますね。
XRD、XRFでさえ、バルクとは...
トン単位のインゴットを扱う連中の感覚とは、ちょっと違う世界のようですね。
私は実験溶解炉を扱うことが多いので、キロ単位ですが、感覚は、やっぱりずれてるようです。

あと、分析領域の話は知りませんでした。
WDXの担当オペレータに、試料面の平坦度はやかましく言われたことがあったんですけど。

>>22
え〜と、UPS辺りになると、
「エネルギーが低い励起になるから、外の状態(価電子とかのへん)は良く分かるけど、中の状態(内殻電子→元素固有情報)はほとんど分からない」
ぐらいしか理解できていないです。もちろん、使ったことも見たことも無いです。

原理的にエネルギー分解能がXPSに劣るというのはどういう理由なのでしょうか?

放射光というとカレー事件の奴ですね。うちの会社もSpring8の枠を持ってるはずなんだけど、
お世話になったことはまだないです。


回折格子の方はgridの意味だったんですか。私はてっきりlatticeの方かとばかり。
実物を見るチャンスも無いんで、ずっと勘違いしてました。聞いてみるものですね。


>>23
え〜と、これは私に限らず、大多数の金属屋は、EDXと聞くとEPMAのEDX、
それもSEM(TEMのケースもあるけど)に組みこまれたものをイメージすると思います。
WDXも同じく。
で、SEM組みこみ型のEDXがEPMAの一種であるということを認識してない人間も何割かは居そうな気がします。
その辺りの事情が反映されてるのが>>7の書き込みなわけですね。

25 :夏厨17号:2001/07/18(水) 22:42
マーズパスファインダの話は
ttp://acept.la.asu.edu/PiN/rdg/pixe/pixe.shtml
に詳しくかいてありました。
アリゾナ州立大っていえば
ジェームズ・メイヤー先生や (LEEMで有名な)バウアー先生がいらっしゃる
ところですね。

26 :21:2001/07/19(木) 09:03
>>23
一応金属屋ですけどEDXをEPMAと言うのは抵抗あります。
理由は、試料電流をあまり変えられない。エネルギー分解能が低い。
とかです。
実際の使い方はSEM-EDXでは簡単なものを
WDXはより精密な分析を行う時に使ってます。

> 私の言ってた奴はディテクター単体で100万切っていたはず。
ずいぶん安いねェ

>7
バルクと言ってるのはXPS、SAM、SIMSの分析に較べ
深さ方向に厚みがあるという事や、ビーム径より分析領域が広い
という事を強調するために使ってます。
見えない(見てない)所も分析領域に含まれるから
解析に気をつけるようにってことです。

27 :名も無きマテリアルさん:2001/07/19(木) 17:47
ていうか結局1はわかったのか??

28 :名も無きマテリアルさん:2001/07/19(木) 21:28
わからんだろうね

29 :1:2001/07/20(金) 16:36
わっかちゃいねーのはおめーだろうがぁ
しったかしてんなよこのドキュンどもが
おまえらを試したんだよ

30 :7:2001/07/20(金) 16:56
>>29
言い種はともかくとして、俺は勉強になったから良かったよ。
ありがと。

31 :名も無きマテリアルさん:01/09/04 01:09 ID:hVt0c/QQ
ESCAは商品名でXPSが学術名
EPMAもそれに準ずる装置名
で原理はEDXかWDXのような気がします。
実際上はSEMにはEDX、EPMAにはWDXと
なっているみたいですね。こんな
アルファベットの羅列で解る人にしか
解らない分野での商品名と原理名が
錯綜しているような気がします。

32 :名も無きマテリアルさん:01/09/13 22:52
確かに複数のWDXが付いた装置をEPMAとして売ってるのが一般的だよね。
本来の意味とは違うけど日本じゃそれが当たり前になってる。

ところでウチの会社じゃEDS,WDSってよぶけど、
EDX,WDXって呼ぶ方が一般的なのかな?

33 :名も無きマテリアルさん:01/09/15 20:04
勉強になりました。2ちゃんとは思えない。
あげときます。

34 :名も無きマテリアルさん:01/09/18 23:45
深い見識ありがと〜。
>>31
酔っぱらって、無意識に私が書いたのかな?
と思ってしまいました。

35 :名も無きマテリアルさん:02/01/16 14:02
         ▲              
      /ハハハ\           
    ./      \
   /   _   _ \  
  |   ⊂・⊃ ⊂・⊃  |
 (|.    ∴  ∪ ∴ |    / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄
  .\      <=>  /  <  >>4 最初に誘拐しようって言ったのは藤木君だろ
    \_____/     \________________________
                                      __   
                                     /    ̄ ̄ー―-_
                                     )           /
                                     |\|\|\___イ
                                     | /\  /\lllll|
                                       | /・\ /・\ |
                                     |   ̄/、  ̄ ̄  )
      ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄\   |    ̄     /
     永沢君だって賛成していたじゃないか(泣    > ヽ  <三>  /
     ___________________/    ヽ    /
                                        \/

         ▲              
      /ハハハ\           
    ./      \
   /   _   _ \  
  |    ⊂⊃ ⊂⊃  |   / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄
 (|.    ∴  ∪ ∴ |   | そうやってすぐに自分の責任から逃れようとする。
  .\      <=>  /  <  やっぱり君は卑怯者だな。
    \_____/     \________________________

36 :名も無きマテリアルさん:02/01/16 14:49
>>32
うちはEDSだな

37 :あるケミストさん:02/01/18 20:36
>32
うちの会社の上の人は、EDAX(エダックス)と読んでいる。
”コピー取って”を、”ゼロックス取って”って言うのと同じだな。


38 :山口くん:02/01/19 18:23
EDAX(エダックス)ってのは製品名だよ。。。

39 :あるケミストさん:02/01/21 21:27
EDAXは、会社名だよ。製品名は、イーグルとかそんな名前がついてたと
思うよ。

40 :山口くん:02/01/22 22:35
会社名でもあり製品名でもある。まさかそんな貧相な指摘うけるとは思わなかった
もんでね。。。

41 :X線装置屋:02/03/16 13:38
Mars Pathfinder に使った検出器の話はメーカーのHP見るといいよ。
http://www.amptek.com/press.html

普通のSi(Li)といわれるタイプのSSDは厚さ5mmほどある結晶を切り出してLiを蒸着し、
高電圧をかけながら百数十度に昇温して一ヶ月待つ。その間に電圧制御も必要。
一方、火星に行ったタイプの検出器はICと同じプロセスで普通のSiウェハから作ったただのPIN
ダイオードだから逆バイアス印可時の空乏層の厚みを大きく取れない。だから、低エネルギーでは
それなりに使えるけど15keV以上では使い物にならない。そのかわり、うんと安い。


42 :職場に1台欲しい・・・:02/03/24 05:11
ビームスポット径に対して二次電子と特性X線の発生する範囲って少し違うはずですが
SEM+EDX装置でマッピングした場合、そのへん(画面上位置の整合性)はちゃんと補正されている
ものなのでしょうか?

ま、ウチでやる程度の分析ではそこまで気にする必要は無いかもしれないですが・・・



43 :age:02/05/11 01:20
EPMAみたこと無いヤツが書いているんじゃないのか?

44 :名も無きマテリアルさん:02/08/06 22:27
SHIMADZU製EPMAをオペレーターとして扱った事がある人いますか?
結晶交換中に分析停止を行った実例ってありますか?


45 :名も無きマテリアルさん:02/08/06 23:03
>>42
特性X線の方が発生ボリュームはかなり広く、励起電圧に比例
しています。マッピングはあくまで定性的な情報なので、補正までは
難しいでしょう。加速電圧、材料の平均原子番号、X線取り出し角など
全て計算すれば可能かもしれませんね。


46 :名も無きマテリアルさん:02/08/09 04:13
>42
基本的にはEPMAのマッピング付属ソフトでは補正してないと思います。
ビーム径に対して、X線発生範囲は相当広い(ビーム径1ミクロンに対して、
発生深さが十ミクロンオーダー、半径も5ミクロン以上?>JEOLの古ーいやつ使った感覚)
ですが、イメージングの場合、差分しか見ませんので通常問題はないと思われます。

私の場合には、イメージングの中の数点をちゃんと定量して、比例計算して
手動で補正かけてます。

47 :42:02/08/09 04:51
>45,46
ありがとうございました。
月末に安いのを購入することになったので、入荷したら色々と試して
みようと思います。

48 :名も無きマテリアルさん:02/12/01 17:34


49 :名無しさん:03/01/05 01:26
          / ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄ ̄\
Λ_Λ  | 君さぁ こんなスレッド立てるから          |
( ´∀`)< 厨房って言われちゃうんだよ             |
( ΛΛ つ >―――――――――――――――――――‐<
 ( ゚Д゚) < おまえのことを必要としてる奴なんて         |
 /つつ  | いないんだからさっさと回線切って首吊れ     |
       \____________________/

(-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ…
(∩∩) (∩∩) (∩∩)

(-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ…
(∩∩) (∩∩) (∩∩)

(-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ… (-_-) ハヤクシンデネ…
(∩∩) (∩∩) (∩∩)


50 :山崎渉:03/01/06 15:30
(^^) 

51 :名も無きマテリアルさん :03/02/05 12:18
(^^)

52 :名も無きマテリアルさん:03/04/04 23:09
【茅ヶ崎ちゃんねる】
 http://jbbs.shitaraba.com/travel/1213/

53 :山崎渉:03/04/17 09:00
(^^)

54 :山崎渉:03/04/20 04:30
   ∧_∧
  (  ^^ )< ぬるぽ(^^)

55 :山崎渉:03/05/21 22:34
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

56 :山崎渉:03/05/21 23:10
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

57 :山崎渉:03/05/28 14:51
     ∧_∧
ピュ.ー (  ^^ ) <これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  =〔~∪ ̄ ̄〕
  = ◎――◎                      山崎渉

58 :名も無きマテリアルさん:04/08/20 00:46
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59 :名も無きマテリアルさん:04/08/20 00:47
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60 :名も無きマテリアルさん:04/08/20 00:48
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61 :名も無きマテリアルさん:04/10/24 11:23:08
age

62 :名も無きマテリアルさん:2005/07/01(金) 22:19:58
>>40
貧相な指摘してんのはお前だろ

63 :名も無きマテリアルさん:2005/07/07(木) 19:03:11
蛍光X線分析とは違うんですか?

64 :名も無きマテリアルさん:2005/07/07(木) 23:49:20
>63
SEMについてるのがEDXって言うんじゃないですか?

65 :名も無きマテリアルさん:2005/08/05(金) 22:37:41
>>40
寡聞ながらEDXという会社を知りません
僕が知っているEDXメーカーといえば
Roentec, PGT, Oxford I., GSI, Horiba, Norlan, あとEDAXでしょうか

66 :名も無きマテリアルさん:2005/09/17(土) 10:15:18
>>65
堀場はいつのまにかEDXやめて蛍光X線に呆滓してるみたいだよ
まあ、日立も検出器だけ買ってきてEDX機能はSEMと融合させてるみたいだし
日立が買ってくれなきゃ堀場もEDXやる意味ないよね


67 :名も無きマテリアルさん:2005/12/30(金) 19:05:46
>>65
日本電子も作って自社のSEMに取り付けているよ
OEMかもしれないが、自社製と言っている
あまり売れてないかな?

68 :名も無きマテリアルさん:2006/02/04(土) 14:36:37
>>65
RoentecもPGTもブル公の軍門に下ったよな

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