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BEST OF SEM

1 :JOHNDOW:2001/05/17(木) 11:42
 半導体分析用にSEMが欲しいのですが、
多くのメーカーからたくさんの機種がでています。
性能、使いやすさ、信頼性、価格などをそれぞれの
観点で結構ですからおすすめのSEMを教えてください

2 :名無しさん@1周年:2001/05/17(木) 11:46
OEM多いから。実際は数社しか作ってないよ。

3 :名も無きマテリアルさん:2001/05/20(日) 00:45
日立とJEOLしか知らないんだけど、ほかにどんな所が作ってるの?

4 :名無しさん@1周年:2001/05/20(日) 01:25
simadzu:止めたほうがいい。安さ命。
HORIBA:超マイナーだと思うけど、、、パンフレット見てると欲しくなる
    操作性とかにすごく気を使ってる印象を受けた。
    後発メーカだからそういう細かい所に気を配ってる感じ。

ちなみにウチのはTOPCONです。
シブイ、、つーか誰だよこんな機種選定した野郎は!!

逝くならJEOLだな。アフターもよさそうだし、セミナーとかも定期的に開催してる。


5 :BAMGIS:2001/05/22(火) 18:36
フィリップスは?

6 :名も無きマテリアルさん:2001/05/23(水) 00:21
形状分析用ってことで良いのかな?
断面SEMに限れば半導体工場では日立しか見たことないよ。
S-5000H派とS-4500派はいるけど。
サービスは、、半導体業界相手に商売してるってことで
それなりに信頼できる。
大学でも研究機関でも使えると思う。

7 :名も無きマテリアルさん:2001/05/24(木) 16:47
SEMはどっちかというと日立がいいんじゃないかな?

TEMなら間違いなくJEOL買うけどね。

8 :名も無きマテリアルさん:2001/05/24(木) 18:08
なんの分析に使うのか(形態?不純物?・・・・・)によって変るね。
SEMなら日立かな?(使ったこと無いけど)
変った所ではエリオニクスなんかどう?
デテクターを複数使ってるんで立体でも影が出ないよ。
あと成分分析するなら(本体よりも)使えるEDSとかWDSの性能が重要だよ。


9 :名無しさん@1周年:2001/05/29(火) 10:44
topcon = oem

10 :名も無きマテリアルさん:2001/06/01(金) 22:28
>>9
dokono???


11 :名無しさん:2001/06/18(月) 03:05
STEMってなんですか?

12 :名も無きマテリアルさん:2001/06/19(火) 02:00
Scaning Transmission Electron Microscope
基本的にはTEMです。
最近はビームが精度良く絞れるようになったので、
それを走査させて像を得る方法。
まぁ機種に依存するが、Åレベルまでビームを絞れると書いてあることもある。

EDXと組み合わせることにより、
分解能の高い元素マッピング像を得ることができます。

13 :名も無きマテリアルさん:2001/06/19(火) 13:17
>>12
> EDXと組み合わせることにより、
> 分解能の高い元素マッピング像を得ることができます。
FE-SEMの方が良くない?操作も楽だし

14 :名も無きマテリアルさん:2001/06/19(火) 21:21
SEMの場合、いくらビームを絞っても電子線が試料内部で散乱し、
広い領域(ミクロンオーダー)からX線が出てくるので、
空間分解能は低いです。

15 :名も無きマテリアルさん:2001/06/20(水) 00:19
だからFE-SEMだって。
普通薄膜試料で観察するよ>FE-SEM
それにSTEMでマッピングする位ならSAMかSIMS使うって。
でも、TEMは構造(電子線回折像)と組成(X線スペクトル)が
両方得られるのが魅力だね。
ってここはSEMのスレだったね

16 :名も無きマテリアルさん:2001/06/20(水) 00:34
うん。薄膜観察するならどっちでもいいね。
SIMSやSAM、Ω・Jレンズが組み込まれてるTEMよりも
EDXのついてるTEMの方が多いので、
EDXについて書いただけです。
それぞれ得手不得手があるけどね。

17 :糸ようじ:2001/06/29(金) 22:58
S−5000派でーす。
S−5700入れてくれないかなぁ。

18 :糸ようじ:2001/07/02(月) 22:52
S-5200使いてぇー!

19 :名も無きマテリアルさん:2001/07/07(土) 18:37
SEMは、SEMの機種以前に、サンプル作りできまるでしょー

20 :大和:2001/07/19(木) 17:52
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21 :名も無きマテリアルさん:2001/08/07(火) 12:51


22 :名も無きマテリアルさん:2001/08/11(土) 23:36

あれ、SEMのメーカーの名前に、エリオニクスが出てないですね.
http://home.elionix.co.jp/

あと、個人的な好みとしては、EDXは
EDAXかな。
ホームページは凝りすぎだけど.
http://www.edax.co.jp/flash/index.htm

23 :名も無きマテリアルさん:2001/08/13(月) 08:52
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 ヽ   \  /  | |  /| | おまえら健康じゃねぇ!!
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24 :名も無きマテリアルさん:2001/08/14(火) 17:17
6>
もしかして東エレの人?
だめですよーSEM待ちで2chやっちゃーwww。
でも暗黙の了解でみんなSEMについているPCでゲームやってるよね。
SEMは日立。TEMは日本電子。現在もこれは変わらず。他は価値無し。
機種選定でいろんなメーカーの使ったことあるから私の感想ですが。。。
でも日本○子はサービスはちょっとドライかな。。なんでも金とるし。
サービスでむかついた!ってのなんかあります?

25 :名も無きマテリアルさん:2001/08/15(水) 09:58
>>24
ドライどころか,トラブルがらみで営業に完全に
無視されたことあり。
泣いた。
日本フィリップ○が助けてくれた。
EDXがらみだった。

いまメンテに来てくれている人は非常にいい人なんですが。

26 :名も無きマテリアルさん:2001/08/15(水) 10:52
>>25
そりゃ大変だったね。
あそこは、メンテナンス契約結んで
メンテに来てる人と仲良くなってないと
対応悪いよね。
あとは技術の人と直接交渉するとかしないと
少なくともこっちの担当がメンテの人や技術の人と
対等くらいに話せるレベルじゃないといいかげんな時もあるみたい。
営業は買うとき以外は関係無いんでどう言う対応しているかよく知らないけどね

27 :名も無きマテリアルさん:2001/08/16(木) 03:27
日○電子のSEMについてくるEDXはクソだよ。
スーパーミ○カップなんてオマケでついてくるが、感度全然ないし。
真空漏れとかして二次災害だしてるほどだしwww
EDXはノーランも結構いいでよ。
あと営業が適当こいてるのはどこのメーカーというより、その人それぞれ
みたい。うちにくる某メーカーの営業は前はよかったのだが、新しく来る
新人営業はかなりドキュソ!!口からでまかせみたい。もうくんな!

28 :名も無きマテリアルさん:2001/08/16(木) 09:10
>>26
学生なのにメンテナンス要員も兼ねてる俺。
来てもらうの有料だから技術に電話で聞いて俺がやる・・・。
俺でどうしようもなかったら技術に来てもらう体制。

でもTEMに関してはベストらしい。蛍光板がえらく明るいとか。
SEMも悪くないとは思う。

29 :名も無きマテリアルさん:2001/08/17(金) 07:27
レス少ないので上げwww

30 :30:2001/08/18(土) 22:33
元実験機器商社の営業マンです。
各メーカーの感じを書きましょう。

日本電子      国内最大でメンテなど無難。
日立        日本電子のライバル。入札相手
カールツァィス   知名度無し。物は良いが・・・。
トプコン      安い。
エリオニクス    検出器二本が売り。粗さ計の代わりに使用してるとこも。
ニコンインステック E−SEM。ガス中にて資料観察出きる。

FE−SEMはたしかに良いんですがメンテ代が・・・。
ちなみにEDXはエダックスをPRしてました。
周辺機器も後で書きます。

31 :25:2001/08/20(月) 12:31
>>30
日本フィリップスも入れてあげて。お願い。
大きなステージは日本フィリップスが1番だったと記憶していますが。

32 :30:2001/08/20(月) 17:14
>>31
もちろん知ってました。フィリップス
SEMとX線回折は強い代理店が有った為、
カタログを入手出来なかったんですよねー。
主に研究機関(大学等)にファン多し。
ステージの評判(自由度)が良かったみたいです。
カタログ見たかった。

33 :名も無きマテリアルさん:01/09/13 22:13
日本電子、前はまともだったんだけど
最近のメンテ要員は全然ダメ。
来てもまともに直せなかったり居眠りしてたり。

最近分析機器もデジタル化されててかえって使いづらいね。
つまみがいっぱいあって融通きくアナログSEMの方が使い勝手いいよ。
デジダルSEMは後輩に任せて日本電子のT-330を主で使ってます。

34 :名も無きマテリアルさん:01/09/18 23:52
日本電子は日立と互角でやっている。
色んなものを作っている日立、研究所では
なにかしてるかもしれないけれど、消費者
に見えない。あの新聞発表は無駄なのでは


35 :名も無きマテリアルさん:01/09/21 11:15
>>33
うちもT-330使ってますが,さすがに寿命。
回路周りの調子が悪いので,そろそろ退役です。

去年,デジタル系のSEM整備したので,それに移行中です。

写真取るまでのパフォーマンスは確かに,アナログ
の方がいいのですが,そのあとのレポート書きとかを
考えるとデジタル系のSEMの方が便利に感じます。

また,内部の構造とかは アナログ系の方が判りやすいですね。

36 :33:01/09/21 11:21
>>35
330退役ですか、お疲れさまって言ってあげてください。
総合的に見ればデジタルSEMの方がいいんだろうけどね、データの加工とか楽だし。
でも私自身は分析したデータを依頼者に渡したらおしまいなので、
アナログの方が楽なんです。
取り込んだ画像をいちいち台紙に貼り付けてプリントアウトなんかさせられると帰って時間かかるし。

それに馴れていかないとこれからはやってけないんでしょうけどね。

37 :-:01/09/21 14:01
モロ、無修正画像サイト発見!

http://www.sex-jp.net/dh/01/
http://www.sex-jp.net/dh/02/
http://www.sex-jp.net/dh/03/
http://www.sex-jp.net/dh/04/

38 :名も無きマテリアルさん:01/09/23 14:54
S-5200最高〜萌え〜
俺一人に独占して使わせろや〜

39 :名も無きマテリアルさん:02/04/08 23:51



40 :名も無きマテリアルさん:02/05/09 00:19
S-310。これ最強。
もしくわ、F-7。
ってどちらも欠陥回収品な上メチャ古いじゃん。
分かる人居る?

41 :名も無きマテリアルさん:02/06/18 01:48
SEMでCLやってる人いない?

42 :名も無きマテリアルさん:02/06/19 18:04
Gatan

43 :真実:02/12/31 23:30
                     あるネット関連会社の社長は、「いずれにしても2ちゃんねるは
資金が底をつけば終わり。あまり知られていないことだが、
2ちゃんねる内部関係者によると今、大手通信会社系が調査費名目で資金提供している。
だが、それが止まれば続けてはいけないだろう」と証言する。
2ちゃんねるが判決によって力を失った場合、資金提供の打ち切りも予想される。
http://ascii24.com/news/reading/causebooks/2002/07/01/636911-000.html

 以下、別の記事のキャッシュ http://memo2ch.tripod.co.jp/article.html
 2ちゃんねるに近いあるインターネット関連会社の社長は、2ちゃんねるの幹部から得
た話として証言する。「2ちゃんねるは、運営者や幹部などがそれぞれ別々に会社を
作りカネの流れを見え難くしているが、実際の資金源は複数の大手通信会社系からの
調査費名目のカネ。月額で計約700万円と言い、年間にすれば1億円近く。額はともあ
れ、これは通信会社系的には、ぼう大なトラフィックを調査すると言う表向きの理由
が一応は立つ。自社系に都合の悪い書き込みがされた時に優先的に削除してもらうこ
とも期待している」と前置きし「通信会社系の削除の期待も含めて、2ちゃんねるは
総会屋と同じになっている」と言うのだ。
 その具体的な理由として社長は、こう話す。「2ちゃんねるはボランティアの削除人
が書き込みをチェックして、好ましくない書き込みを一所懸命削除している、という
ことになっているが、あれはウソ。削除人には給料が支払われ、その給料の原資と
なっているのが、まずいことを書き込まれた企業が削除要求とともに渡す裏金。これ
はまさに、総会屋の構図そのものだ。これまで裁判になっているのは金額で折り合え
なかったり、裏金を出さない強い態度の企業とだけだ」


44 :名も無きマテリアルさん:03/01/01 02:06
ageageage

45 :名も無きマテリアルさん:03/01/01 14:53
age

46 :山崎渉:03/01/06 15:34
(^^) 

47 :山崎渉:03/03/13 13:28
(^^)

48 :山崎渉:03/04/17 09:08
(^^)

49 :山崎渉:03/05/21 22:29
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

50 :山崎渉:03/05/28 14:58
     ∧_∧
ピュ.ー (  ^^ ) <これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  =〔~∪ ̄ ̄〕
  = ◎――◎                      山崎渉

51 :山崎 渉:03/07/12 12:45

 __∧_∧_
 |(  ^^ )| <寝るぽ(^^)
 |\⌒⌒⌒\
 \ |⌒⌒⌒~|         山崎渉
   ~ ̄ ̄ ̄ ̄

52 :山崎 渉:03/07/15 12:35

 __∧_∧_
 |(  ^^ )| <寝るぽ(^^)
 |\⌒⌒⌒\
 \ |⌒⌒⌒~|         山崎渉
   ~ ̄ ̄ ̄ ̄

53 :山崎 渉:03/08/15 19:02
    (⌒V⌒)
   │ ^ ^ │<これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  ⊂|    |つ
   (_)(_)                      山崎パン

54 :v:04/11/01 08:45:38
test

55 :名も無きマテリアルさん:04/11/11 22:13:47
あげ

56 :名も無きマテリアルさん:04/11/14 02:34:21
>>41
いますが、何か?

57 :名も無きマテリアルさん:04/11/29 16:45:51
>>56
やってますが何か?
ドーピングしてないから拡大したとき像が動きまくり


58 :名も無きマテリアルさん:04/11/30 21:43:53
サンプル何?

59 :名も無きマテリアルさん:04/12/01 10:00:07
GaAs

60 :名も無きマテリアルさん:04/12/02 17:36:26
窒化物半導体だと欠陥構造評価等だけどガリ砒素だとどんな物性評価を行うんですか?

61 :名も無きマテリアルさん:04/12/02 20:10:06
漏れの場合GaAsの選択成長してるので成長後の形状観察

62 :HTC:2005/06/14(火) 20:48:56
SEMの評判とか具体的に教えて!
どこのメーカーは、どの部分が強いとか。。。
あとは使い勝手とかそういうのも教えて下さい。

63 :名も無きマテリアルさん:2005/06/21(火) 17:16:22
Tescanのおもちゃ使ってるが本当におもちゃだ
分解能がまったくたりん

64 :名も無きマテリアルさん:2005/09/21(水) 19:34:56
最強のSEM!T−20(JEOLぢゃないのかな?)・・・
って何年前だよ
最近のSEMは、ポラロイドが付いてないって聞いて驚きますた・・・


65 :名も無きマテリアルさん:2005/09/23(金) 10:27:18
間違いなくS-5500が最強

66 :名も無きマテリアルさん:2005/11/16(水) 22:51:04
T-330でGUNBIASがヒーターONと同時に振り切れるのは寿命でしょうか?


67 :大四畳半:2005/12/24(土) 02:08:20
家庭用SEM欲しい。
折りたたみ座卓に乗せられるようなやつ。

68 :名も無きマテリアルさん:2005/12/29(木) 20:59:40
>>30
エリオニクスはさっぱり進歩していないようだ
今はSEMにさほど力入れていないように見えるよ

69 :STEM?I`?´?q??:2005/12/29(木) 22:25:37
OA的な使いやすさはシェア1番のJEOLかな。ついで日立。
エリオニクスは退化している?
トプコン、SEMは儲からないから熱心じゃないのかな。
カールツァイス、デモルームさえ無いのは売る気なし?
物は良いのに残念。
外国勢でメジャーなのはFEIくらい?
Tescanってチェコの会社なのね。
なんかすてき。

70 :名も無きマテリアルさん:2005/12/30(金) 00:11:28
>>69 シェア1番のJEOLかな

SEMはJEOLが一番のシェアなの?
JEOLいわく、「日本のシェアの75%はJEOLです」
日立いわく、「7割は日立です」
エリオニクスいわく「国内の6割押さえています、残りを他社で分け合っています」
各メーカーの言い分をまともに信ずるとシェアは300%くらい有りそうだが・・・

71 :???「SEM」ってなに?:2006/01/01(日) 02:03:21
たぶん各メーカーさんが勝手に「SEM」の定義を限定してしまって居るではないかな。
たとえばFE-SEMは除外するとか。

72 :名も無きマテリアルさん:2006/01/02(月) 22:16:12
え?3社ともFE−SEMメーカーでしょ?

73 :名も無きマテリアルさん:2006/01/05(木) 15:01:49
鍵の人は2位だって言ってたから1位が3社に2位が1社かw

74 :名も無きマテリアルさん:2006/05/20(土) 00:41:54
FEIのタイタンって??


75 :名も無きマテリアルさん:2006/06/26(月) 23:45:22
ニコンのESEM使っておられる方いますか?
大気中でもokとのことですが、通常(日立や電子)のSEMと比べて、
注意する点があれば、教えてください。
EDXも問題なく使えますよね??

76 :名も無きマテリアルさん:2006/06/29(木) 03:15:24
あああ

77 :名も無きマテリアルさん:2006/07/07(金) 23:13:29
観察目的のsem使いが多いのですかね?
おいら的にはCD-SEMがきになるでつ・・・

日立/AMAT/KLAどれが一番マトモ?

78 :名も無きマテリアルさん:2006/07/30(日) 11:53:55
何じゃ、最近のSEMはPCと一緒じゃねぇか
40過ぎのジジィじゃ使えん
ああ、古き良きポラロイド!
(品質悪いし、高いからフォトラマ使ってたけど)
仕事の合間に仮眠してた現像室!
古き良き時代って感じだな

79 :名も無きマテリアルさん:2006/08/19(土) 20:23:15
>>75
ニコンのSEM?国産じゃないだろ?
日本語のマニュアルは無いし、使い勝手が非常に悪い
今まで使ったSEMの中で最低クラス、国産メーカーとは比較にならん

80 :名も無きマテリアルさん:2006/08/27(日) 18:52:56
ニコンのE−SEMのことか?
電源入れると「OFF]が点灯、切ると「ON]が点灯する
日本の感覚と逆なので非常にとまどう、とにかく使いにくい

81 :名も無きマテリアルさん:2006/11/17(金) 06:49:25
挙がってないけど TM-1000 は?
一応、SEMっぽいけど。

82 :名も無きマテリアルさん:2006/11/19(日) 10:35:58
今の最先端FESEMは、dual beam FESEMです。FIBとFESEMの混合機になっていて、
EBSDをつければ(テクニックが必要ですが)組織の3次元化が可能です。ただ、高額です(二億ぐらい)
通常のFESEMだと、JSM7000Fが最近の名機ですね。ビーム電流が大きくとれ、
ビームも安定しています。

83 :名も無きマテリアルさん:2006/11/22(水) 01:25:09
>>82
JSM7000Fって解像度惡くない?
あまり良い印象はないな。

dual beamは通常のSEMとして使う場合には
使い勝手にちょっと制限を感じるかも。
dual beamを比較的低コストで間に合わせるためには
FEIで出してるタングステンSEMのもあるけど
用途によりますね。

84 :名も無きマテリアルさん:2006/12/02(土) 02:12:16
>>69
カールツァイスはSIIが面倒を見ることになったようだけれど
どんなもんだい?

85 :名も無きマテリアルさん:2006/12/02(土) 02:23:02
>>83
>FEIで出してるタングステンSEM
Quanta 200 3D
dual beamでEDSを付けて6千万くらいかな?
FEが要らなければお買い得かな。

86 :名も無きマテリアルさん:2007/01/09(火) 21:24:33
http://www.bio-concierge.com/list.php?id=34

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