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インテルのP4工程は銅汚染が問題?

1 :RISA:01/12/04 22:16 ID:Fxkg8QLs
インテルのPentium4ラインで銅汚染が問題になっているらしいのですが、詳しい方いますか?
PowerPCやAthlonは、既に銅配線を実用化しているのに、いまさらインテルで問題になるって、作り方が違うのかな?
また、インテルから無茶言われている半導体製造装置メーカーの方、ご意見ありませんか。

2 :名無しさん@1周年:01/12/05 00:15 ID:AYR0pGdJ
インテルの人為的ミスで汚染されたウェハを拡散炉に入れたらしい。その炉でが感染源になった訳で製造装置の問題ではないと言う話。

3 :名無しさん@1周年:01/12/05 00:41 ID:MTNynJbK
うわ、リアルな話age。

4 :AMD派:01/12/05 18:04 ID:k2tKMAVZ
銅汚染て何???
半導体にかかわってるけど始めて聞いた(無知?)。
誰か詳しく教えてよ!

5 :名無しさん@1周年:01/12/05 20:21 ID:bYgLEZgW
レジスト付きウェハを拡散炉ならどっちがやばい?

6 :名無しさん@1周年:01/12/05 22:55 ID:TMzK0r2v
銅があると、回路の絶縁がうまくいかない、じゃあなかったっけ?

銅コンタミは大変、って聞いたことがある。

7 :名無しさん@1周年:01/12/05 23:25 ID:8a2eoOWl
会社名は言えないが、うちの会社でも以前コンタミが問題になったことがある。
とにかく、原因が不明でマシン、レシピ全部見直しても結局原因つかめずで、
いつのまにか問題が無くなっていて、やっかいだと思うよ。

8 :名無しさん@1周年:01/12/05 23:32 ID:3S5VujST
胴オセンってチャンバー内のカソードの配線から放電したんじゃねーの?

9 :RISA:01/12/06 00:10 ID:MNP3PInx
銅汚染って、まだ解明されていない?

10 :名無しさん@1周年:01/12/06 01:01 ID:/DC1eT2m
十円玉を落としたやつが犯人

11 :AMD派:01/12/06 13:05 ID:veENkTFW
>>2
続編ないの?

ここにも銅汚染あるけど面白くない。

http://japan.cnet.com/News/2001/Item/011001-5.html

裏話とかないのか

12 :RISA:01/12/08 18:57 ID:KivYs/aV
>>11
別な意味で面白い。
銅の持ち込み禁止って、ポッケの十円玉が空飛んで汚染を撒き散らすと思っているみたいで。
銅が入っていない装置もないだろうし、インテルがそんなバカなこと考えてるとも思えない。
銅とアルミラインを分けるのも、被害を食い止める意味では効果があるが、根本的な対策になってない。
どう考えてもお・か・し・い。
この記事書いたライター逝ってよし。

博学の方、この記事にコメントしてください。

13 :すみません:02/01/14 02:25 ID:dvIWEYzZ
>>12
私、アホなので、言いたいことが良く分かりません。

でも、
「蒸着することもできるが、この方法では銅をそこら中に撒き散らしてしまう」
のが理由でメッキしてないのは確かですね。
ダマシンを使いたいからメッキでしょう。

蒸着は他の膜のように、エッジまで銅がつけらるのは有利ですね。
最近は良くなったけど、メッキはエッジ2〜6mmは銅がつけられませんからね。

14 :うーん、バカ発見!!:02/02/06 22:43 ID:IqljCLoX
この前、今どきEE10mmでしか膜付けできないウエハしか作れないくせに
CMPでEE3mmの均一性を保障してくれとかいうバカプロセスエンジニアがいた。
Cu無いところどうやって均一性の評価するねん。
なんで、説明しても分からないねん?
つくづく、日本のデバイスメーカーのレベルはかなり低いと思った。
外国のメーカーならこんなアホな事態は生じません。生じません。

2年くらいで、台湾・韓国どころか中国にあっさり置いておかれるような気がしてならない。

15 :名無しさん@1周年:02/02/14 00:14 ID:jEyCExZg
銅レスのカッター製作の要請があるから本当でしょ。

16 :とるクス天使:02/06/17 16:40 ID:9N2c8oXg
インテルの同汚染かぁ、のーかっぱー ってやっちゃね。
私もインテル入ったけど(WWW IDのついたパスカードが発行される
かこの職業、住所なんかもかかれるがちょっと嘘ついた。写真入り)
インテル内のクリーンルームに入るときに一応研修を受けてから、
(そのときに銅云々の問題はやった。)軽い試験問題を受けてから
各FABの許可パスを貰うわけなのだが・・・・たしかに杜撰つったら
杜撰かもな外人もっぱぱらぱーだし。

17 :名無しさん@1周年:02/06/17 19:56 ID:gMbVxzeL
古い話しちょる

18 :        :02/09/03 01:10 ID:QdsbxBGu

加速試験で百数十時間の寿命、という噂

19 :名無しさん@1周年:02/09/16 02:42 ID:58tTDZ3K
銅汚染ですか、インテルの社員に聞いたのだが、かっぱ 問題
はたいへん難しいらしい
かっぱ Cu

20 :名無しさん@1周年:02/09/29 18:14 ID:8lxQP2t9
研磨の際、使用するホイールにフィラーとして入っているCuが問題なのでは?

21 :名無しさん@1周年:02/09/29 23:34 ID:bERuXTcU
施設設備関係者だが銅メッキラインで使った工具を
別のラインに持ちこまないように言われていたが
意味あるのかなぁ


22 :名無しさん@1周年:02/09/30 00:23 ID:uNCRZZqA
>>21
意味あるかどうか知らんが、金はかかるよね。
河童ライン専用ツール......



23 :名無しさん@1周年:02/10/18 23:28 ID:2032womo
POWER PCは、天下のIBMが作っとるからねえ、モトローラ製のものより、
全然いいでしょ。銅配線でもいち早く量産できたのは、IBM。
要素技術も凄いねえ。IBMも他社も同じ、ノベラスのどぼどぼマシンだったのに。

24 :山崎渉:03/01/11 08:22 ID:3o2GdScx
(^^)

25 :山崎渉:03/01/18 14:28 ID:T8eZO2ir
(^^)

26 :名無しさん@3周年:03/01/29 00:40 ID:D4NIW9dw
Cuは足が早いですからねぇ。お熱になるとすぐにバルクにはいっちゃう。
うちの会社もインテルに叩かれてますよ。
おかげで、会社に半年拘束して激痩せした。
精一杯の技術を費やしたのに・・・駄目だった。

27 :名無しさん@3周年:03/01/29 03:24 ID:g4go/Ui/
どうでもいいけど、P4工程って何だ?
Pentium4も、PentiumVも、130nmのプロセスなら、皆同じだよな。
P1260とP860の違いは、ウエハの口径以外に何かあるのかね?


28 :名無しさん@3周年:03/02/12 21:17 ID:sSDncrOS
>27
だから銅配線を採用してるところが違うんでしょ!

29 :山崎渉:03/03/13 13:57 ID:XsBsiqkW
(^^)

30 :名無しさん@3周年:03/03/14 08:56 ID:jzHzud+6


http://money.2ch.net/test/read.cgi/haken/1029382600/l50
http://money.2ch.net/test/read.cgi/haken/1028608824/l50
インテルの基盤のことなら3勤2交代勤務で働く俺たちに訊いてくれ。
長野市は新光電気更北工場で、ラインは今日も絶賛稼動中だぜ!!


31 :山崎渉:03/04/17 09:23 ID:lBh9QBwB
(^^)

32 :山崎渉:03/04/20 04:17 ID:62iGJiyF
   ∧_∧
  (  ^^ )< ぬるぽ(^^)

33 :山崎渉:03/05/22 00:16 ID:z4HA051A
━―━―━―━―━―━―━―━―━[JR山崎駅(^^)]━―━―━―━―━―━―━―━―━―

34 :名無しさん@3周年:03/06/12 04:23 ID:18U1bFcl
銅、金などによる半導体の汚染は 古い半導体の教科書に載ってるから
読んでみるべし。基本的には汚染が怖くて、三層目からしか銅配線に
出来ない。

IBMが銅配線を採用して、昔ASICの売り上げ伸ばしたけど、そんなに遅延
は劇的に 短くなってるわけではない らしいぞ。

配線の寄生RC抽出 -->遅延simulation--> logic cell libraryの
準備は面倒なので、1回 銅配線プロセスを使ってcell libraryを構築
してしまうと他のプロセスに乗り換えられないらしい。

35 :山崎 渉:03/07/12 12:41 ID:oL2YQau1

 __∧_∧_
 |(  ^^ )| <寝るぽ(^^)
 |\⌒⌒⌒\
 \ |⌒⌒⌒~|         山崎渉
   ~ ̄ ̄ ̄ ̄

36 :山崎 渉:03/07/15 12:52 ID:Ji/MgYLv

 __∧_∧_
 |(  ^^ )| <寝るぽ(^^)
 |\⌒⌒⌒\
 \ |⌒⌒⌒~|         山崎渉
   ~ ̄ ̄ ̄ ̄

37 :山崎 渉:03/08/15 19:30 ID:c/ebNb1T
    (⌒V⌒)
   │ ^ ^ │<これからも僕を応援して下さいね(^^)。
  ⊂|    |つ
   (_)(_)                      山崎パン

38 :名無しさん@3周年:03/10/21 23:47 ID:WQ2u26LG
            _,,..-‐'''"" ̄ ̄``` '''i
        _,,.-''´ _,,,,....-―――- 、、,,_|
      .,. '´,,..- ''´    ┌ i  |R`` 、、
    / /   「゙!...,__ | !  'ー- 、、`ヽ
.   ,.' ./   ヽニ., .!7゙ィァ)! .|       `ヽ `、
  ,' / ○「 !'`i ! l ! r'',.、! |    ,,__    `、 '、
  ,' .,'   「゙i.! i`! |. | | ヽニ ' -',.、  ! .l ,.=-、 ゙, ゙!
  | .i   | .!L.! l_」└    ,-、ゝ' ,r;:'. |.! '_ソ  ! |
  l !.   凵  ○.r-,.-、i゙ /゙ ! |i .! | .!i、し') / ,'
  ゙,. ゙、     「`!| ,.ヘ ゙!ヽヽl .|゙、'_1 ! `゙´ ,.' /
  ヽ `、    ! .|.! l ! |/ / ゙''   ゙''  ,/, '
   ヽ、\   . 凵`'' ゙'' `´     ,.. '"/
     ヽ、``‐- ...,,,___,,,..-‐''",,. '"
        `ー- ..,,,__,,,.... -‐''"

39 :名無しさん@3周年:04/01/19 00:48 ID:dxNpflU6
    /⌒\  /⌒\
  ((    ; 三    ,,))
    ヽ   (  /    ミ   マラマラマラマラマラマラマラマラマラマラマラマラマラマラマラマラマラマラマラマラ・・・・・・・・・・
     キ   .メ   ./
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    / ̄.| | |  `‐-------´  /
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    `ー─┬┬─ ´     丶-‐´
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                   / \( ●  ● |つ
                   |   X_入__ノ   ミ   チンポヘリがきたクマ――!
                    、 (_/   ノ /⌒l
                    /\___ノ゙_/  /  =====
                    〈         __ノ  ====
                    \ \_    \
                     \___)     \   ======   (´⌒
                        \   ___ \__  (´⌒;;(´⌒;;
                          \___)___)(´;;⌒  (´⌒;;  ズザザザ
                                      (´⌒; (´⌒;;


40 : ◆ooOooooopo :04/02/14 20:59 ID:FvzOGxPX



41 :名無しさん@3周年:04/04/10 02:14 ID:ulP7ZTJR
計算すりゃわかるだろう

純正に近い順から並べると
純正(II) ドリブン+1 ドリブン+2 ドライブ-1 ドリブン+3
2.666    2.733   2.8      2.857   2.866


効果があるかどうかはわからんけどドライブを換えるほうがより変化するよ

42 :名無しさん@3周年:04/05/06 22:19 ID:+Axcp0Xq
test

43 : ◆ChuckyaISo :04/05/12 01:08 ID:eqxl5/WG
test

44 :名無しさん@3周年:05/01/07 01:53:13 ID:fuJLb8wq
いつのスレだよww

45 :名無しさん@3周年:05/02/14 05:16:04 ID:Tno2G9kf
>34
いまは1層目から銅配線つかってます

46 :名無しさん@3周年:2005/04/07(木) 23:47:27 ID:GfHmSKck
配線まちがえた

47 :名無しさん@3周年:2005/10/16(日) 21:55:29 ID:uaLzOHNq
上昇傾向!!

48 :名無しさん@3周年:2006/02/23(木) 02:08:47 ID:fTUpb9dJ
wwwww

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